[請益] CMP知識
CMP領域的各位先進大家好,
最近在研究CMP的重要性及未來的發展趨勢,同時也想深入了解如何制定slurry和clean的
配方。
目前有找到一份市場報告,但價格高達5000美元,
https://www.gii.tw/report/if1473283-cmp-equipment-consumables-market-analysis.
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因此想請教各位先進,是否有推薦的CMP權威書籍或相關文獻可以參考?
先行感謝各位的寶貴分享,感恩!
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